bn:00021634n
Noun Concept
Categories: 半導体製造, ポンプ, 拡散
JA
拡散ポンプ  ディフューザポンプ  復水ポンプ
JA
高い真空を得るのに用いられる真空ポンプ Japanese Open Multilingual WordNet
Definitions
Relations
Sources
JA
高い真空を得るのに用いられる真空ポンプ Japanese Open Multilingual WordNet
拡散ポンプ(かくさんポンプ、英語: diffusion pump)は、半導体製造・加工装置などの真空チャンバーで主に用いられる真空ポンプである。 Wikipedia
Japanese Open Multilingual WordNet
Wikipedia
Wikidata
Wikipedia Redirections
Wikidata Alias
WordNet Translations
Wikipedia Translations