bn:00021634n
Noun Concept
Categories: 半導体製造, 拡散, ポンプ
JA
拡散ポンプ  ディフューザポンプ  復水ポンプ
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高い真空を得るのに用いられる真空ポンプ Japanese Open Multilingual WordNet
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高い真空を得るのに用いられる真空ポンプ Japanese Open Multilingual WordNet
拡散ポンプ(かくさんポンプ、英語: diffusion pump)は、半導体製造・加工装置などの真空チャンバーで主に用いられる真空ポンプである。 Wikipedia
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