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bn:00062092n
Noun Concept
Categories: 光学, 印刷, 半導体製造, ナノテクノロジー, フォトリソグラフィ
JA
フォトリソグラフィ  フォトリソグラフィー  微細加工技術  フォトリソグラィ
JA
フォトリソグラフィ（英語: photolithography）は、感光性の物質を塗布した物質の表面を、パターン状に露光（パターン露光、像様露光などともいう）することで、露光された部分と露光されていない部分からなるパターンを生成する技術。 Wikipedia
Definitions
Relations
Sources
JA
フォトリソグラフィ（英語: photolithography）は、感光性の物質を塗布した物質の表面を、パターン状に露光（パターン露光、像様露光などともいう）することで、露光された部分と露光されていない部分からなるパターンを生成する技術。 Wikipedia
IS A
リトグラフ
製造プロセス
HAS PART
EN
etching in lithography
HAS KIND
90ナノメートル
EN
quantum lithography
EN
10 nm process
65ナノメートル
45ナノメートル
+20 relations
HAS PARTS OF THE CLASS
ウェットエッチング
Wikipedia
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フォトリソグラフィ
Wikidata
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フォトリソグラフィ
Wikipedia Redirections
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フォトリソグラフィー
Wikidata Alias
JA
フォトリソグラフィー, 微細加工技術
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JA
フォトリソグラフィー
Wikipedia Translations
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フォトリソグラィ

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