bn:01448293n
Noun Concept
Categories: 熱処理, 半導体製造
JA
ラピッドサーマルプロセス  ラピッドサーマルアニール  ラピッド・サーマル・アニール  ラピッド・サーマル・プロセス
JA
ラピッドサーマルプロセス(英: rapid thermal processing、RTP)とは、シリコンウェハーを数秒あるいはそれ以下の時間スケールで高温(1,000 °C以上)に加熱する半導体製造プロセスのこと。 Wikipedia
Definitions
Sources
JA
ラピッドサーマルプロセス(英: rapid thermal processing、RTP)とは、シリコンウェハーを数秒あるいはそれ以下の時間スケールで高温(1,000 °C以上)に加熱する半導体製造プロセスのこと。 Wikipedia