bn:03623264n
Noun Concept
Categories: 半導体製造
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反応性イオンエッチング  ICP-RIE  RIE  反応性イオンエッチグ
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反応性イオンエッチング はドライエッチングに分類される微細加工技術の一つである。 Wikipedia
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反応性イオンエッチング はドライエッチングに分類される微細加工技術の一つである。 Wikipedia
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