bn:14659361n
Noun Concept
Categories: Microeletrônica, Nanotecnologia
PT
litografia por feixe de elétrons  de litografia por feixe elétrons
PT
Litografia por feixe de elétrons é a prática de varrer com um feixe de elétrons em um padrão através de uma superfície coberta com um filme, e de remover seletivamente ou regiões expostas ou não expostas do resiste. Wikipedia
Definitions
Relations
Sources
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Litografia por feixe de elétrons é a prática de varrer com um feixe de elétrons em um padrão através de uma superfície coberta com um filme, e de remover seletivamente ou regiões expostas ou não expostas do resiste. Wikipedia