bn:01787762n
Noun Concept
Categories: 半導体製造
JA
深堀りRIE  深掘りRIE  Deep RIE
JA
深掘りRIE(ふかほりアールアイイー、Deep RIE)とは、反応性イオンエッチング の一つで、アスペクト比の高い(狭く深い)反応性イオンエッチングをいう。 Wikipedia
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深掘りRIE(ふかほりアールアイイー、Deep RIE)とは、反応性イオンエッチング の一つで、アスペクト比の高い(狭く深い)反応性イオンエッチングをいう。 Wikipedia
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